测量程序自动化，高重复精度，智能分析SPC系统

l 大范围测量，满足大板测量要求

l 高解释度CD，高精密的激光头，保证测量精度高而稳定

l 彩色影像2D尺寸检查功能

l 精确模拟3D测量功能

l 高精度重复测量，测量程序自动化

l 高精密设计刚性架构，消除环境影响

l 完全智能化SPC分析系统

 

 3维锡膏厚度测量机技术参数 

2D尺寸检查功能

 

 

3D全息影像显示扫描结果：

 

 

程序编制功能方便多次重复扫描

 

 

功能强大的SPC统计分析系统